Etude et developpement d'une methode de simulation pour l'estimation des variations des performances des portes logiques cmos a partir de l'analyse des fluctuations des procedes de fabrication

par MANUEL DE ALMEIDA

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Michel Robert.

Soutenue en 1997

à Paris 11 .

mots clés

Résumé

Le propos de cette these est de developper et d'experimenter une methode de simulation statistique permettant d'estimer les variations des performances des portes logiques cmos a partir de l'analyse de l'influence des dispersions de parametres technologiques cles suivis dans le cadre de l'activite ordinaire des fonderies de silicium. L'algorithme mis au point est un module de pre et post-traitement de simulation pour des simulateurs de type spice et il met en oeuvre des techniques de calcul statistique totalement independantes du circuit cmos considere. Cette methode trouve des applications dans l'amelioration de la robustesse de conception des elements de bibliotheques pour les circuits specifiques precaracterises, dans l'analyse du rendu parametrique de la ligne de fabrication du fondeur et dans la procedure de qualification prototype.

Titre traduit

A statistical method for the analysis of cmos process fluctuations on dynamic performance

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