Recherche Avancée

Thèse soutenue

Propriétés structurelles, optiques et électriques de la zircone et de la zircone stabilisée déposées par évaporation thermique et pulvérisation réactives

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Auteur / Autrice : Mohamed Boulouz
Direction : André Boyer
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique
Date : Soutenance en 1997
Etablissement(s) : Montpellier 2

Résumé

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Le but de cette recherche est d'une part la fabrication et d'autre part la caracterisaton physique des depots d'oxydes a base de zicorne (zro#2). Les techniques de depots utilisees sont la co-evaporation thermique au canon a electrons et la pulverisation magnetron r. F reactive. L'etude cristallographique par diffraction aux rayons x, montre que la stabilisation de la zicorne dans sa phase cubique par les oxydes d'yttrium et de calcium est totale. L'indice de refraction n, le coefficient d'extinction k et l'epaisseur de la couche sont determines simultanement a partir des mesures de la reflexion et de la transmission optiques. Nous avons observe que l'indice de refraction depend fortement de la porosite et de la structure des films. Des depots homogenes de grande densite de remplissage ont ete obtenus apres optimisation des parametres de depot et de la quantite du dopant. Les mesures electriques en regime alternatif effectuees sur les structures ni/zicorne/ni ont permis de comprendre les mecanismes de conduction au sein des couches de zro#2#-y#2o#3(cao). Dans les alliages etudies, la constante dielectrique et la conductivite a. C passent par un optimum au voisinage de la concentration minimale de stabilisant requise pour faire apparaitre la phase cubique. Les depots de zircone et de zircone stabilisee sont utilises dans les processus technologiques pour : #* realiser des membranes isolantes thermiques sur lesquelles sont deposes des thermocouples (thermopiles), #* isoler electriquement des resistances de platine deposees sur des tubes d'acier (debitmetres), #* isoler des alliages thermoelectriques (bi#2te#3)#0#,#2#5(sb#2te#3)#0#,#7#5 pour realiser des micromodules peltier (capteurs d'humidite).