Construction d'un analyseur hemispherique pour spectroscopies electroniques. Elaboration d'un systeme d'acquisition, experiences specifiques

par Dagou Zeze

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Bernard Gruzza.

Soutenue en 1996

à Clermont-Ferrand 2 .

mots clés

Résumé

Nous nous sommes interesses a l'elaboration d'une enceinte ultra vide et notamment a la construction d'un analyseur hemispherique en energie des electrons. Ce spectrometre de haute resolution sera utilise pour caracteriser de facon precise les surfaces des echantillons permettant ainsi une meilleure maitrise de la fabrication de composants electroniques de haute performance et de dimension reduite. Apres une breve description du dispositif experimental, nous avons rappele les methodes d'analyses des surfaces par spectroscopies electroniques (epes, eels, aes, etc. . ) et expose le mode de fonctionnement a energie de passage constant de l'appareil. La seconde partie relate les differentes etapes de la construction et de la mise au point de l'analyseur: l'usinage des pieces mecaniques, le traitement electronique du signal, la determination des parametres experimentaux. Nous avons ensuite elabore un dispositif d'acquisition des spectres et un programme de pilotage automatique des experiences, permettant de porter la resolution energetique du dispositif experimental a 0,10 ev. Enfin nous avons mene des experiences relatives, d'une part a la determination des parametres fondamentaux tels que le libre parcours moyen inelastique des electrons dans les materiaux (#i), la section efficace differentielle de perte inelastique par application de l'algorithme de tougaard de soustraction du niveau de fond, la determination de l'efficacite auger permettant d'obtenir des informations relative a la section efficace d'ionisation. D'autre part, nous avons caracterise par spectroscopies electroniques (aes, eels) des substrats d'alumine de stchiometrie variable, utilises comme supports en catalyse heterogene

Titre traduit

Development of a high resolution hemispherical spectrometer for electron spectroscopies. Implementation of the spectra data acquisition system. Specific experiments

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