Application de la gravure laser directe à la personnalisation des circuits intégrés et à la fabrication de modules d'interconnexion multipuces en technologie couches minces

Application of direct laser writing for customization of IC's and fabrication of multichip modules using thin films technology

• Auteur / Autrice : Mohamed Fathi
• Direction : Yves Danto
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Électronique
• Date : Soutenance en 1996
• Etablissement(s) : Bordeaux 1

Résumé

L'application de la lithographie laser directe a la personnalisation des circuits integres et a la realisation de modules d'interconnexion multipuces mcm presente de nombreux avantages, notamment pour la realisation de prototypes. Nous avons elabore et caracterise les procedes et les regles specifiques a l'utilisation de la station d'ecriture laser directe concue et realisee dans notre laboratoire. Un modele de l'interaction laser/resine a ete developpe et permet d'effectuer une prevision des largeurs de gravure en fonction des parametres du procede d'insolation laser. Dans le but de realiser un controle actif du processus de fabrication, nous avons automatise certaines etapes sensibles telles que la cuisson du dielectrique polyimide et le positionnement de l'origine des masques numerises. L'ensemble de ces travaux est valide par la realisation d'un module mcm fonctionnel et par la personnalisation d'une matrice prediffusee bipolaire