Evangelina Pavlatou
IdRefMots clés
FR |
EN
ALD
Modélisation multi échelles
Alumine
TMA
H2O
Interface
Caractérisations
Procédé
Transistors à effet de champ
Oxydation électrochimique
Ellipsométrie
Al MOCVD-Fe MOCVD
Modélisation multi-échelle
Modélisation macroscopique
Codépôt d'Al et Fe-Dépôt sequentiel d'Al/Fe intérmetalliques
Vapeur d'eau
Simulation des grandes échelles
Échelle multidimensionnelle