Etude à l'échelle nanométrique par microscopie à haute résolution et spectrométrie de pertes d'énergie d'électrons de codépôts (AIN-Si3N4) sur SiC

par Philippe Marti

Thèse de doctorat en Physique des solides

Sous la direction de Annie Mazel.

Soutenue en 1995

à Toulouse 3 .

mots clés

• Composites à fibres de carbone -- Propriétés mécaniques
• Antioxydants
• Microscopie électronique
• Nitrure d'aluminium
• Nitrure de silicium
• Couches minces -- Surfaces
• Dépôt chimique en phase vapeur
• Composites à fibres de carbone

Résumé

L'objet de ce travail est l'etude a l'echelle nanometrique par microscopie electronique analytique de revetements devant servir de protection anti-oxydation a des composites a base de carbone. Ces revetements, elabores par depot chimique en phase gazeuse, sont constitues d'un codepot (aln-si#3n#4) et d'une couche de carbure de silicium. L'examen de plusieurs depots de carbure de silicium a montre l'influence de la temperature d'elaboration sur la nature des polytypes presents dans les echantillons etudies. Pour les temperatures inferieures a 1300c, les polytypes observes sont majoritairement de desordre unidimensionnel. A plus haute temperature (1390c), le materiau est compose de cristaux de carbure de silicium de structure cubique maclee et de phases de carbone turbostratique. La microstructure et la composition chimique des codepots (aln-si#3n#4) sont etroitement liees aux parametres d'elaboration tels que les debits gazeux des precurseurs et la temperature du reacteur.

Titre traduit

Study at the nanometre scale by high resolution electron microscopy and electron energy loss spectroscopy of (aln - si#3n#4) codeposits on sic

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