Tranches de semiconducteurs elaborees en micro-gravite et couches anti-reflets obtenues par pulverisation laser excimere pour la detection photonique

par HERVE ANDRE DURAND

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Patrick Meyrueis.

Soutenue en 1995

à l'Université Louis Pasteur (Strasbourg) (1971-2008) .

mots clés

Résumé

Les developpements de la photonique, par leurs implications pluridisciplinaires sont le plus souvent freines par l'attente de progres dans d'autres domaines, comme l'elaboration de materiaux, par exemple. Beaucoup d'applications du domaine de la photonique se contentent aujourd'hui de la qualite couramment obtenue dans la fabrication de couches minces, electroniquement active ou passive. Lorsque des couches de tres bonne qualite de reflectivite ou de faible diffusion sont necessaires pour des applications specifiques, il est indispensable d'innover dans les methodes de fabrication de materiaux configures en tranches. Nous presentons deux methodes de production de couches et de tranches de materiaux optimises pour la detection photonique ouvrant la voie a un progres des performances du detecteur qui pourra etre realise ulterieurement

Titre traduit

Semiconductor layer fabricated in micro-gravity and antireflection coating deposited by excimer laser sputtering for photonic detection

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