Lubrification des micromécanismes

Lubrication of micormecanisms

• Auteur / Autrice : Hanène Maupas-Zarrad
• Direction : Claude Martelet
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Dispositifs de l'électronique intégrée
• Date : Soutenance en 1995
• Etablissement(s) : Ecully, Ecole centrale de Lyon
• Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Laboratoire d'électronique, optoélectronique et microsystèmes (Ecully, Rhône)

Mots clés

Mots clés contrôlés

Tribologie (technologie)

Couches monomoléculaires

Lubrification

Systèmes microélectromécaniques

Mots clés libres

Greffage chimique

Résumé

Les micromecanismes realises jusqu'a present en silicium ou en nickel ont tous pour inconvenient majeur de s'user tres rapidement. Pour lubrifier ces micromecanismes, l'idee est de greffer sur les surfaces en frottement des monocouches de molecules organiques de quelques nanometres d'epaisseur. L'objectif de cette etude est la mise au point et l'optimisation de cette technique de lubrification.

The silicon-made and nickel-made micromecanisms realized until now have all the major disadvantage to wear very fast. In order to lubricate such micromecanisms, the idea is to graft on the rubbing surfaces organic monolayers, that have a few nanometers of thickness. The objective of the study is the development and the optimization of this technique of lubrification.