Processus d'interaction laser-matere : application a l'irradiation uv de l'aluminium et du carbure de silicium

par PHILIPPE TONT

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Sylvain Lazare.

Soutenue en 1994

à Paris 11 .

mots clés

Résumé

Recemment le developpement de nouvelles sources laser emettant dans l'ultraviolet, comme les lasers a excimeres, a permis d'envisager des applications nouvelles. Les travaux de cette etude contribueront a determiner les potentialites de ces lasers pour des utilisations en milieu industriel sur des materiaux, comme les ceramiques, difficilement usinables par des procedes classiques. Une description theorique de l'interaction laser uv-materiaux par un expose le plus exhaustif possible des processus intervenants est effectuee. Une etude experimentale portant sur, l'evolution de l'absorption du rayonnement laser par les materiaux a l'aide d'une sphere integrante ; les mesures par capteur a quartz piezo-electrique des pressions engendrees lors de l'interaction ; la definition des regimes hydrodynamiques d'ecoulements par imagerie ultra rapide et strioscopie des plasmas et des ondes de choc ; les cinetiques d'ablation par profilometrie ainsi que sur la caracterisation, par microscopie et des procedes classiques d'analyse de compositions chimiques de surface (e. S. C. A. , spectroscopie d'electrons auger, e. D. S. ), des modifications induites sur le materiau, a ete realisee. Les resultats obtenus ont permis d'une part, de mettre en evidence les differents mecanismes regissant l'interaction et d'autre part, de definir les parametres optimum pour le traitement de surface ou le micro-usinage par laser a excimeres de materiaux employes dans l'aeronautique, notamment le carbure de silicium

Titre traduit

Laser-mater interaction: application to aluminium and silicon carbide uv irradiation

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