Reseaux lamellaires graves dans des structures multicouches : caracterisation et application a la realisation des monochromateurs a bande passante etroite

par MUSTAPHA OUAHABI

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de R. BARCHEWITZ.

Soutenue en 1994

à Paris 6 .

mots clés

Résumé

Ce travail concerne l'etude de la diffraction des rayons x mous par des reseaux lamellaires graves dans des structures multicouches. Ces systemes sont realises en combinant les techniques de depots de couches d'epaisseur nanometrique a celle de la microlithographie. Les figures de diffraction et les efficacites de ces reseaux ont ete mesures a plusieurs energies du rayonnement x (930 et 275 ev). Toutes les mesures ont ete obtenues en utilisant un reflectometre realise dans notre laboratoire equipe d'un tube a rayons x, d'un goniometre 0-20 et d'un monochromateur a double cristaux. Les resultats experimentaux obtenus sont interpretes et compares a des resultats theoriques obtenus dans le cadre de la theorie cinematique (premiere approximation de born) et la theorie dynamique differentielle. Nous avons propose d'utiliser de tels reseaux avec des parametres adaptes (faible largeur de trait, nombre de bicouches eleve) pour realiser des monochromateurs de bragg a bande passante etroite. Nous presentons les premieres tentatives pour realiser ces monochromateurs. Les resultats obtenus se revelent tres prometteurs

Titre traduit

Lamellar gratings etched in multilayer miroirs: characterization and application to manufacturing of monochromaters with a narrow band width

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