Contribution a la modelisation electrique, magnetique et thermique d'un applicateur de plasma inductif haute frequence

par ABDELLAH CHENTOUF

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Javad Fouladgar.

Soutenue en 1994

à Nantes .

mots clés

Résumé

Un modele numerique a ete developpe pour le calcul de la distribution de la temperature et du champ magnetique dans une torche a plasma inductif haute frequence. L'entree de l'inducteur est supposee etre la tension de sortie du generateur. La distribution de la densite de courant dans l'inducteur est alors calculee par la resolution numerique des equations electromagnetiques et de transfert de chaleur dans l'inducteur et le plasma. Une methode mixte, integrale de frontiere-volume fini, est utilisee pour la resolution des equations aux derivees partielles. Le modele est applique d'abord a une torche a quartz, puis a une torche avec une cage metallique refroidie. Pour ce dernier cas, un modele quasi-tridimensionnel est introduit. A partir de la distribution de courant dans l'inducteur, l'impedance de l'applicateur est ensuite calculee

Titre traduit

Contribution to the electrical, magnetical and thermal modeling of a radio frequency induction plasma installation

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