Caractérisation dynamique des technologies CMOS
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Auteur / Autrice : | Philippe Coll |
Direction : | Daniel Auvergne |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences appliquées, Electronique, optronique |
Date : | Soutenance en 1994 |
Etablissement(s) : | Montpellier 2 |
Mots clés
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Résumé
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Le but des travaux presentes dans cette these a ete de developper une methode de caracterisation dynamique des technologies de circuits integres cmos. Un module de controle de process a ete concu et realise qui permet d'extraire l'ensemble des elements caracteristiques des performances d'une technologie. Ces parametres permettent d'une part d'evaluer l'amplitude des derives du procede de fabrication, et d'autre part de realiser le lien avec les outils de simulation electriques. L'application au suivi des derives de procede de fabrication permet de plus d'etudier l'evaluation des performances en fonction de la tension d'alimentation et montre les possibilites pour l'etude de l'effet des autres parametres