Réalisation de couches minces de nitrure de titane par dépôt ionique avec évaporation laser du titane

par Luc Vergnaud

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de P. SAULNIER.

Soutenue en 1994

à Limoges , en partenariat avec Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques (autre partenaire) .

mots clés

• Couches minces

Résumé

Les travaux concernent l'etude et l'optimisation d'un systeme de depot de couches minces anti-usure utilisant une source d'evaporation par laser pulse, dans le but de pouvoir deposer ces couches minces a l'interieur de tubes de faibles diametres, les techniques classiques ne le permettant pas. Tout d'abord, le choix du materiau de depot le nitrure de titane est justifie et ses principales proprietes decrites. Le but de ce travail etant d'essayer de comprendre et de maitriser cette methode de depot, une synthese des travaux realises sur l'interaction laser-matiere est presentee, afin d'expliquer les phenomenes mis en jeu puis definir les parametres importants. Nous nous sommes ensuite attaches a realiser puis optimiser une source d'evaporation laser permettant d'obtenir des depots de bonne qualite. A partir de la, et apres avoir explique le fonctionnement du systeme de depot utilise, nous avons realise des couches minces en faisant varier les differents parametres pression, temperature de substrat, polarisation du substrat, vitesse de deplacement de la cible, cycle de nettoyage. Les proprietes des depots obtenus sont alors decrites puis analysees afin de determiner les parametres optimaux pour l'obtention de couches anti-usure a l'interieur de tubes de faibles diametres

Titre traduit

Preparation of titanium nitride films by ion plating with laser evaporation of titanium

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