Amorphisation par réaction à l'état solide dans les multicouches NI/TI

par Mohamed Bouhki

Thèse de doctorat en Sciences appliquées. Physique

Sous la direction de Maurice Gerl.

Soutenue en 1993

à Nancy 1 , en partenariat avec Université Henri Poincaré Nancy 1. Faculté des sciences et techniques (autre partenaire) .

mots clés

• Amorphisation cristallisation
• Couche multiple
• Nickel
• Titane
• Température
• Diffusion mutuelle
• Couche mince
• Cristallisation
• Conduction électrique
• Rayons X -- Diffraction

Résumé

Ce travail concerne l'étude de l'amorphisation par réaction à l'état solide dans les multicouches NI/TI. En premier lieu, les multicouches NI/TI évoluent des que leur température augmente. Le début de l'amorphisation se fait par transformation d'intercouches mixtes par recuit. Ensuite le phénomène se poursuit par dissolution du titane dans le nickel, simultanément avec le phénomène d'amorphisation. Les mesures de résistivité électrique et de diffraction des rayons X permettent de suivre la cinétique d'amorphisation et d'accéder aux coefficients de diffusion. Les valeurs déterminées sont du même ordre de grandeur dans les deux cas. Trois régimes sont mis en évidence: tout d'abord un régime de croissance linéaire contrôlé par réaction à l'interface, puis un régime parabolique contrôlé par diffusion et enfin un ralentissement attribue à un comportement de l'intercouche amorphe en barrière de diffusion

Titre traduit

Amorphization by solid state reaction in multilayers NI/TI

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