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des thèses françaises
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Caractérisation d'oxydes de sicilium par spectroellipsométrie et par gravure chimique
FR
| Auteur / Autrice : | Bichr Skheyta |
| Direction : | Alain Gagnaire |
| Type : | Thèse de doctorat |
| Discipline(s) : | Sciences. Dispositifs de l'électronique intégrée |
| Date : | Soutenance en 1993 |
| Etablissement(s) : | Ecully, Ecole centrale de Lyon |
| Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : Laboratoire de Matériaux Mécanique-Physique (Ecully, Rhône) |
Mots clés
FR
Mots clés contrôlés
Résumé
FR
L'objectif de ce travail est la mise au point d'une méthode de caractérisation d'oxydes par gravure chimique, l'épaisseur des oxydes étant contrôlée par ellipsométrie spectroscopique. Cette méthode est appliquée à l'étude du système Si02/Si, élément de base de la technologie silicium en micro-électronique.