Synthèse et caractérisation de films diélectriques polyimides cardo
par Jean-Marc Oraison
Thèse de doctorat en Sciences. Matériaux macromoléculaires et composites
Sous la direction de Gisèle Boiteux et de Gérard Seytre.
Soutenue en 1991
à Lyon 1 .
Le jury était composé de Gisèle Boiteux, Gérard Seytre.
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Résumé
La necessite de disposer de materiaux thermostables solubles pour leur utilisation comme couches d'isolation intermetalliques ou comme elements d'interconnexion nous a conduit a developper des polymeres a structure de chaines rigides associee a une faible polarite. Nous avons synthetise trois polyimides cardo par polycondensation dans la nmp d'une diamine primaire la dapf avec differents dianhydrides: le btda, le 6fda ou encore un melange de ce dernier avec le pmda. Nous obtenons ainsi des polyimides totalement cyclises qui peuvent etre separes par precipitation dans l'eau. Les tests de solubilite ont revele que les solvants de ces polyimides doivent presenter une d elevee et un #h et un #p faibles. Lors de la mise en uvre de films par voie solvant des contraintes sont creees suite au processus d'evaporation du solvant et a la difference de dilatation thermique entre le film et le substrat. Des analyses thermomecaniques et de refractometrie nous ont permis de caracteriser ces phenomenes. Par ailleurs, ces materiaux presentent une tres bonne stabilite thermique (temperature de degradation >350c) et des transitions vitreuses elevees > a 340c et l'evolution des constantes dielectriques est en accord avec la structure chimique des chaines. Les absorptions dielectriques observees sur les spectres isofrequences ont ete attribuees a basse temperature (t<75c) a la presence d'eau puis a haute temperature aux rotules flexibles liant les groupements imides et enfin a des phenomenes de conduction
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Titre traduit
Synthesis and characterization of polyimides cardo dielectric films
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