Diagnostic et modelisation de la diffusion d'un plasma d'argon dans un reacteur radiofrequence a source helicon

par Christine Charles

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Pierre Ranson.

Soutenue en 1990

à Orléans .

mots clés

Résumé

Cette these decrit la modelisation, a partir d'un diagnostic experimental, de la diffusion d'un plasma rf d'argon de type source helicon dans un reacteur de gravure de circuits integres. Le plasma est diagnostique par sondes electrostatiques: sonde de langmuir et analyseur d'energie a grilles. L'association de ces deux sondes est utilisee pour l'etude spatiale de la diffusion. L'investigation experimentale de la diffusion nous mene a un modele analytique unidimensionnel qui est developpe de facon interactive avec l'experience et optimal par rapport a l'information disponible. Il donne principalement les valeurs de densite, potentiels plasmas et fonctions de distribution en energie des ions sur l'axe principal du reacteur. Une des conclusions importantes est que la fonction de distribution en energie des ions est, pour les pressions considerees (qq mtorr), essentiellement conditionnee par les mecanismes d'echange de charges par collisions entre les ions et les atomes neutres d'argon dans le champ electrique developpe par le plasma. Les limites et potentialites du modele en fonction des parametres externes sont discutees, ainsi que son interet sur le plan des applications gravure et depot

Titre traduit

Experiment and modelling of helicon rf diffusion argon plasmas

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