Synthèse et étude de nouveaux polymères porteurs d'unités TTF utilisables dans les domaines de la microlithographie et des semi-conducteurs

par Henri Mora

Thèse de doctorat en Chimie des matériaux

Sous la direction de Louis Giral et de François Schué.

Soutenue en 1990

à Montpellier 2 .

mots clés

• Microlithographie
• Polystyrène
• Copolymères greffés
• Semiconducteurs -- Effets des rayonnements
• Photochimie
• Oxydation
• Transfert de charge
• Complexes donneur-accepteur d'électrons
• Sels, Effets de (chimie)
• Radicaux (chimie)
• Ions

Résumé

Ce travail concerne la synthese et l'etude de nouveaux derives du poly(styrene) greffes par des unites ttf utilisables dans les domaines de la microlithographie et des semi-conducteurs. Nous avons dans un premier temps synthetise ces polymeres et, pour cela, de nombreux intermediaires ont ete prealablement prepares selon de nouvelles voies de synthese. Nous nous sommes ensuite interesses a leurs applications. Dans ce but, nous avons montre que ces nouveaux polymeres, conformement au comportement de leur molecule modele, s'oxydent aisement en formant soit un complexe de transfert de charge lorsqu'ils sont mis en presence de ddq soit un sel d'ion radical lorsqu'ils sont irradies sous uv en presence d'un compose halogene tel que le tetrabromure de carbone

Titre traduit

Synthesis and study of the new polymers bearing ttf units which can be used in the microlithographic field and semi-conductors' one

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