La suppression du fond en spectrométrie Auger : étude générale et applications

par Nicole Rosenberg

Thèse de doctorat en Physique des matériaux

Sous la direction de Edmond Vicario.

Soutenue en 1990

à Lyon 1 .

Le jury était composé de Edmond Vicario.

mots clés

• Auger, Effet
• Électrons -- Rétrodiffusion
• Traitement du signal
• Électrons Auger

Résumé

Pour mener a bien, en spectrometrie auger, une analyse qualitative finie ou quantitative, il faut pouvoir eliminer le fond c. -a-d. Les contributions des electrons retrodiffuses, secondaires et auger inelastiques. L'evaluation de la contribution des electrons auger inelastiques s'appuie sur les travaux theoriques de tougaard et tofterup. La section efficace differentielle de diffusion inelastique est obtenue a partir du spectre de retrodiffuses lorsque l'energie primaire est voisine de celle des electrons etudies. Les travaux theoriques supposant une symetrie cylindrique, realisee dans la pratique par les analyseurs a miroir cylindrique; cependant une soustraction satisfaisante a ete effectuee sur les spectres realises avec un analyseur hemispherique. Les pics auger deduits de cette soustraction de fond sont tres voisins de ceux obtenus grace a une deconvolution par un spectre de retrodiffusion. La precision du fond est telle que l'on peut determiner le spectre llv du silicium, d'intensite tres faible. Le rapport signal sur bruit, mediocre, est ameliore par une methode d'intercorrelation avec une fonction convenablement choisie

Titre traduit

Background suppressing in auger spectrometry: general study and applications

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