Etude fondamentale et appliquée des mecanismes de transport en Pulverisation Cathodique Magnétron

par Felicito S. Caluyo

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Jean Machet.

Soutenue en 1990

à Limoges , en partenariat avec Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques (autre partenaire) .

mots clés

• Pulvérisation cathodique
• Magnétrons
• Dépôt en phase vapeur
• Monte-Carlo, Méthode de

Résumé

L'étude théorique et appliquée des mécanismes de transport des atomes pulvérisés dans les dispositifs de pulvérisation cathodique magnétron fait l'objet de ce mémoire

Titre traduit

Fundamental and applied study of transport mechanisms in Magnetron Cathodic Sputtering

Résumé

This study deals with the transport mechanisms of sputtered atoms in Magnetron Cathodic Sputtering