Reaction en phase gazeuse dans une post-decharge en ecoulement conduisant a la synthese de nitrure de silicium

Reaction in gas mixture in a flowing post-discharge leading to the silicon nitride synthesis

• Auteur / Autrice : DOMINIQUE CONTE
• Direction : Alain Catherinot
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Chimie
• Date : Soutenance en 1990
• Etablissement(s) : Limoges
• Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques

Résumé

Ce travail est relatif a l'etude et a la modelisation des cinetiques de reaction intervenant dans un melange ar-sih#4-h#2 en post-decharge en ecoulement. Dans une premiere partie, apres une etude bibliographique des especes a longue duree de vie de l'azote, nous avons etalonne et mesure par spectrometrie de masse, les densites des especes n, sih#4, sih#2 et nh#2 pour differentes conditions experimentales. Puis par identification entre ces valeurs experimentales des densites et celles calculees par un modele de cinetique de reaction, nous avons determine les constantes de reactions suivantes: 1) 1,410##1#6 m#3/s pour la reaction entre n(#4s) et sih#4; 2) 11,310##1#6 m#3/s pour la reaction entre n(#4s) et sih#2; 3) 7,310##1#6 m#3/s pour la reaction entre n(#4s) et nh#2. La deuxieme partie de ce travail debute par la determination de grandeurs thermodynamiques (enthalpie, chaleur specifique, fonctions de partition) pour les differentes especes presentes en zone de post-decharge. Ces grandeurs thermodynamiques permettent de proposer un modele de cinetique de reaction dans les cas d'une decharge micro-onde et celui de la pyrolyse du silane. Enfin, dans une troisieme partie, nous presentons deux cas d'applications d'un systeme de post-decharge en ecoulement dans un melange ar-sih#4-n#2 la realisation de couches minces et de poudres de nitrure de silicium