Contribution à l'étude de l'interaction entre un faisceau laser et un milieu semiconducteur : applications à l'étude du latchup et à l'analyse d'états logiques dans les circuits intégrés en technologie CMOS

par Pascal Fouillat

Thèse de doctorat en Sciences

Sous la direction de Jean-Paul Dom.

Soutenue en 1990

à Bordeaux 1 .

mots clés

Résumé

Une modelisation approfondie de l'interaction laser-semiconducteur permet l'etude de l'influence des parametres physiques et technologiques sur l'effet photoelectrique induit. Les resultats experimentaux sur la localisation et la caracterisation des structures bipolaires parasites inherentes a la technologie cmos sont confirmes simulation electrique. Une seconde application demontre la faisabilite d'une analyse d'etats logiques internes sans contact dans les circuits integres. Le banc de test par faisceau laser est compare aux autres techniques de test sans contact et ses perspectives d'evolution sont evaluees

Titre traduit

Contribution to the study of the interaction between a laser beam and a semiconductor : applications to the study of latchup and to logic state analysis in CMOS integrated circuits

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