Réalisation et étude de guides d'ondes optiques plans en nitrure d'aluminium par pulvérisation magnétron réactive

Realization and study of planar optical wave guides in aluminium nitride with reactive magnetron sputtering

• Auteur / Autrice : Ibrahim Kadad
• Direction : Alain Cachard
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Electronique
• Date : Soutenance en 1989
• Etablissement(s) : Saint-Etienne

Mots clés

Mots clés contrôlés

Guides d'ondes optiques

Magnétrons

Résumé

Le principe de la technique de dépôts d'ain pulvérisation magnétron réactive et les caractéristiques courant-tension de la machine sont développés. La propagation de la lumière est étudiée et la technique de spectroscopie des lignes noires pour la détermination des propriétés optiques est décrite. Les résultats concernant l'influence des paramètres de la décharge sur les propriétés des couches minces d'ain sont présentes