Étude du transfert d'énergie d'une onde à un plasma : application aux décharges basse pression créées par onde de surface

par Caroline Laporte

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Philippe Leprince.

Soutenue en 1989

à Paris 11 , en partenariat avec Université de Paris-Sud. Faculté des sciences d'Orsay (Essonne) (autre partenaire) .

mots clés

• Décharge hyperfréquence
• Décharge basse pression
• Hélium
• Argon
• Oxygène
• Ondes -- Propagation
• Ondes de surface
• Transfert d'énergie
• Décharges électriques

Résumé

Le sujet de cette thèse porte à la fois sur le transfert de l'énergie microonde à un plasma et sur la modélisation de la décharge. Le chapitre I montre que le problème du maintien d'une décharge par une onde nécessite autant une étude approfondie de la propagation d'onde dans un milieu limité (sujet du chapitre II), qu'une bonne compréhension de la décharge (sujet du chapitre II). Le chapitre II débute par une étude précise de la description diélectrique d'un plasma et de son interprétation physique. La suite détaille la résolution de l'équation de dispersion des différents modes pouvant se propager dans une structure à symétrie cylindrique, de la façon la plus générale possible. Le chapitre III présente les équations décrivant la décharge (fonction de distribution électronique et modèle radial de diffusion). Les caractéristiques de son maintien et les paramètres importants dont elles dépendent sont mis en évidence. Ces différents aspects théoriques sont utilisés au chaptire IV pour réaliser une synthèse de résultats expérimentaux de décharges basse pression (argon, hélium, oxygène entre 0. 1 et 10 torr) créées par une onde de surface (mode plasma à symétrie azimutale, de fréquence 210 à 2450 MHz). .

Titre traduit

Energy transfer from a wave to a plasma : application to surface wave discharge at low pressure

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