Etude physico-chimique de nitrures utilises en microelectronique et revetements durs : tin#x et nbn#x

par YONG UN SOHN

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Jean Debuigne.

Soutenue en 1989

à Rennes, INSA .

mots clés

Résumé

Etude des interactions titane-azote et niobium-azote. Methodes d'elaboration d'alliages tin#x massifs et de couches minces nbn#x et tin#x. Caracterisation physique et physico-chimique. Aspect cinetique

Titre traduit

Contribution to physico-chemical study of nitrides used in microelectronic and hard coatings tin#x and nbn#x

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