Détection et localisation de défauts dans les circuits intégrés logiques par test sous faisceau laser

Detection and localisation of defects in digital integrated circuits by laser probing

• Auteur / Autrice : Bertrand Simonin
• Direction : Yves Danto
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences
• Date : Soutenance en 1988
• Etablissement(s) : Bordeaux 1

Mots clés

Mots clés contrôlés

Mise au point

Défauts électriques -- Localisation

Faisceaux laser

Photoconductivité

Circuits intégrés numériques

Résumé

Ce travail consiste en la recherche des possibilites d'utilisation, comme moyen de test de circuits integres, de l'effet photoelectrique induit par un faisceau laser. La partie experimentale comporte la realisation d'une station de mesure, sa mise au point optique, electronique, ainsi que la conception de son informatique de commande. L'etude et la modelisation de l'interaction rayonnement-semiconducteur a apporte des elements d'explication aux reponses des circuits a l'excitation lumineuse. Une evaluation approfondie du comportement de circuits de diverses technologies a ete effectuee pour des fonctionnements en tension marginale et vis-a-vis de l'auto-amorcage (latch-up). Les conclusions ont permis de definir des procedures significatives de test.