Controle de la croissance d'empilements ultra-minces carbone tungstene et silicium-tungstene par ellipsometrie cinetique in-situ : application aux miroirs pour x-mous

par Vincent Bodart

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de ) THEETEN.

Soutenue en 1987

à Paris 7 .

mots clés

• Physique
• Generalites physique
• Miroir
• Rayon x mou
• Fabrication
• Pulverisation haute frequence
• Ellipsometrie
• Structure stratifiee
• Couche mince
• Carbone
• Tungstene
• Rugosite
• Interface
• Mirror
• Soft x ray
• Manufacturing
• Radiofrequency sputtering
• Ellipsometry
• Laminated structure
• Thin film
• Carbon
• Tungsten
• Roughness
• Interface

Résumé

Dans le but d'obtenir des reflecteurs de bragg pour rx mous, on realise par pulverisation avec controle ellipsometrique in situ des empilements de 200 couches nanometriques. Observation de la formation des interfaces a l'echelle atomique, evaluation des rugosites d'interface

Titre traduit

Fabrication using in situ kinetic ellipsometry of carbon-tungsten multilayers for soft x-rays mirrors

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