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Etude de la fonctionnalisation de structures Si/SiO2 : :(2), Application à la réalisation d'un capteur ionosensible
par Pierre Bataillard
Thèse de doctorat en Sciences. Microélectronique
Sous la direction de Claude Martelet et de Nicole Jaffrezic-Renault.
Soutenue en 1987
à l'Ecully, Ecole centrale de Lyon , en partenariat avec Laboratoire de physique chimie des interfaces (Ecully, Rhône) (laboratoire) .
mots clés-
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Titre traduit
Study of the fonctionalization of si. Sio::(2) structures. Application to the realization of an integrated ion-sensitive sensor
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