Uniquement les thèses soutenues
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Contribution à l'automatisation de la procédure de préparation et d'étude en ultra-vide de couches minces d'alliages
par Norbert Delpire
Thèse de doctorat en Sciences appliquées
Sous la direction de Jean Gouault.
Soutenue en 1986
à Rouen .
- Automatisation
- Couche mince
- Vide
- Méthode étude
- Microordinateur
- Alliage binaire
- Evaporation
- Automation
- Thin film
- Vacuum
- Examination method
- Microcomputer
- Binary alloy
- Evaporation
- Investigation method
- Couches minces métalliques
- Ultravide
- Vide (technologie)
mots clés
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Résumé
Description de l'automatisation de la phase de la mise en vide d'un groupe a des pressions de l'ordre de 10**(-9) torr à partir d'un microordinateur et de nombreux circuits d'interface. Extension du projet global d'automatisation pour gérer toutes les phases du processus. Description de l'appareillage de mesures analogique ainsi que son interface avec le microordinateur
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