Etude préliminaire du mécanisme de dépôt, de l'aérothermie et de l'hydrodynamique de l'E. P. V. O. M. De GaAs

par Abdelmajid Hariss

Thèse de doctorat en Sciences. Chimie appliquée

Sous la direction de Yves Monteil.

Soutenue en 1986

à Lyon 1 .

Le jury était composé de Yves Monteil.

mots clés

• Dépôt en phase vapeur par organométalliques
• Spectroscopie Raman
• Arséniure de gallium
• Couche limite
• Mécanique des fluides
• Vélocimétrie laser Doppler

Résumé

Etude par spectrometrie raman, visualisation laser et anemometrie laser doppler. Etude du comportement thermique et hydrodynamique des gaz vecteurs et mise en evidence de l'existence d'un fort gradient thermique au voisinage du suscepteur. Le regime de convection mixte dominee soit par la convection naturelle soit par la convection forcee est caracterisee par le nombre sans dimension de froude relie simplement aux nombres de rayleigh et de reynolds

Titre traduit

Gaas movpe preliminary study: mechanism, aerothermy and hydrodynamic

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