Etude et realisation de depots de nitrure de titane a l'interieur de tubes

par Raho Berraho

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Pierre Saulnier.

Soutenue en 1986

à Limoges .

mots clés

Résumé

Ce travail montre qu'il est possible de realiser des couches anti-usure dures et adherentes de nitrure de titane a l'interieur de tubes de faible diametre. Un dispositif experimental permettant de realiser des depots en presence d'une decharge electrique est propose. L'evaporation s'effectue pas interaction d'un faisceau laser pulse avec une cible de titane situee a l'interieur du tube substrat. L'influence de parametres comme la densite d'energie, le debit d'azote et l'intensite du courant de decharge a ete etudiee par rapport aux caracteristiques des depots (durete, adherence. . . ). On montre qu'on peut realiser par cette methode d'evaporation des depots durs et adherents avec ou sans decharge electrique, un nettoyage prealable du substrat dans la decharge etant indispensable

Titre traduit

Study and realization of titanium nitride films on the interior of tubes

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