Etude par rayons X rasants des effets de l'implantation de silicium dans le silicium et de fer dans un grenat
par Bruno Gilles
Thèse de doctorat en Sciences des matériaux
Sous la direction de Michel Brunel.
Soutenue en 1986
à Grenoble 1 .
- Physique
- Etat condense
- Proprietes mecaniques et thermiques
- Surface
- Implantation ion
- Diffraction rx
- Etude experimentale
- Incidence rasante
- Non metal
- Compose mineral
- Couche superficielle
- Grenats
- Spectrometrie moessbauer
- Impurete
- Silicium|sec
- Fer|sec
- Recristallisation
- Amorphisation
- Microscopie electronique transmission
- Silicium|sub
- Aluminium yttrium oxyde mixte|sub
- Surface
- Ion implantation
- X ray diffraction
- Experimental study
- Grazing incidence
- Non metal
- Inorganic compound
- Surface layer
- Garnet type compound
- Moessbauer spectrometry
- Impurity
- Silicon
- Iron
- Recrystallization
- Amorphization
- Transmission electron microscopy
- Silicon
- Aluminium yttrium oxides mixed
mots clés
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Résumé
Un faisceau x tombant en incidence rasante sur une surface polie est totalement reflechi. Une onde evanescente se propage alors dans le materiau avec une faible profondeur de penetration : on peut encore observer un rayonnement de fluorescence ou de diffraction mais l'epaisseur irradiee est tres faible (10nm). Mise en evidence des possibilites d'utilisation de cette technique de surface pour caracteriser les modifications par implantation ionique des 1000 premiers a d'un cristal a partir de l'exemple de l'amorphisation de si par implantation de si et de l'implantation du grenat al-y par fe
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Titre traduit
Study by grazing incidence x-ray beams of effects due to implantation of silicon in silicon and iron in a garnet
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