TY  - THES
DP  - 
		http://www.theses.fr/1985PA112119
TI  - Étude et réalisation d'un contrôleur, temps réel, des procédés de gravure de circuits intégrés à haute intégration
AU  - Ougouag, Omar
A3  - Canteloup, Jean
PY  - 1985
SP  - 1 vol. (107 f.)
N1  - Thèse de doctorat Sciences appliquées. Électronique Paris 11 1985
N1  - 1985PA112119
ER  -