Étude et réalisation d'un contrôleur, temps réel, des procédés de gravure de circuits intégrés à haute intégration

par Omar Ougouag

Thèse de doctorat en Sciences appliquées. Électronique

Sous la direction de Jean Canteloup.

Soutenue en 1985

à Paris 11 , en partenariat avec Université de Paris-Sud. Faculté des sciences d'Orsay (Essonne) (autre partenaire) .

mots clés

• Gravure de circuits intégrés
• Détection de fin de gravure
• Circuits intégrés à très grande échelle
• Couches minces
• Interféromètres laser

Résumé

Cette thèse présente l’étude et la réalisation d’un contrôleur numérique pour le suivi et le pilotage, en temps réel, des procédés de gravure sous plasma des circuits intégrés à très haute échelle d’intégration (VLSI). Ce système est construit autour d’un micro-ordinateur personnel dont il conserve les possibilités intrinsèques. Il est accompagné de cartes d’interfaces performantes et programmables complétées de cartes d’applications spécifiques aux capteurs. Le contrôleur mis au point s’appuie sur l’interféromètre-réflectomètre laser, mais il se configure facilement avec d’autres capteurs.

Titre traduit

Investigation and implementation of a real time controller of highly-integrated circuit etching processes

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