Technologie bipolaire hétérojonction AlGaAs/GaAs pour circuits intégrés
Auteur / Autrice : | Hervé Baratte |
Direction : | Directeur de thèse inconnu |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Électronique |
Date : | Soutenance en 1985 |
Etablissement(s) : | Paris 11 |
Partenaire(s) de recherche : | autre partenaire : Université de Paris-Sud. Faculté des sciences d'Orsay (Essonne) |
Mots clés
Mots clés contrôlés
Mots clés libres
Résumé
Un modèle analytique proche de la réalité permet de réaliser une structure optimale et de corréler les performances et les paramètres. La séquence de croissance épitaxique est compliquée par la présence des deux hétérojonctions différentes algaas/gaas et gaas/algaas et de deux types de dopants, le silicium pour le type n et le béryllium pour le type p. Un recuit rapide assure un bon rendement d'activation tout en limitant la diffusion des dopants. La double hétérostructure à jonctions progressives obtenue par implantation d'ions convient aux circuits intègres. On prévoit une grande rapidité et une grande densité d'intégration pour les montages j**(2),l (à injection intégrée) et ecl (à émetteur commun). Le transistor bipolaire a hétérojonction convient également dans des applications linéaires.