TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/1985PA112003
TI  - Contribution à l'étude de la gravure plasma de l'arséniure de gallium
AU  - Khodr, Farès
A3  - Directeur de thèse inconnu, 
PY  - 1985
SP  - 1 vol. (140 p.)
N1  - Thèse de doctorat Physique des gaz et des plasmas Paris 11 1985
N1  - 1985PA112003
ER  -