Cédric Mastail
IdRefMots clés
FR |
EN
Pulvérisation magnétron
Pulvérisation cathodique
Monte-Carlo, Méthode de
Films minces
Caractérisation in-Situ en temps-Réel
Couches minces
Code Monte Carlo cinétique
Contraintes résiduelles
Effets d'interface et d'alliage
Premiers stades de croissance
Couches minces métalliques
Analyse multiéchelle
Croissance
Nanostructures
Transitions de phase
Contraintes intrinsèques
Défauts
Résistivité électrique
Interfaces
Siliciures