Elisabeth Blanquet
IdRefMots clés
FR |
EN
Couches minces
Dépôt chimique en phase vapeur
Composites à matrice céramique
Zircone
Ald
Épitaxie
Dépôt en phase vapeur par organométalliques
Carbure de silicium
Couche mince
MOS complémentaires
ALD
Epitaxie
Nitrure d'aluminium
Semiconducteurs
Contraintes résiduelles
Thermodynamique
MOCVD
Microélectronique
Passivation
Atomic Layer Deposition