Christelle Tixier
IdRefMots clés
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Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Couches minces
Dépôt chimique en phase vapeur
Pression atmosphérique
Composites à matrice céramique
Infiltration chimique en phase vapeur
PECVD
Dioxyde de titane
Micro-ondes
Carbure de silicium
Technique des plasmas
Oxydation
Silice
Oxyde de titane
Projection au plasma
Cvd
SiNx
Nitrure de silicium
Oxynitrures de silicium
Revêtements protecteurs