Alexandre Tishchenko
IdRefMots clés
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Microélectronique
Lithographie
Photolithographie
Résonance plasmonique de surface
Diffraction
Couches minces
Source masque optimisation
OPC
Masques (électronique)
Nanoparticules métalliques
Champ du plasmon
Théorie de Mie
Indice effectif
Résonance plasmon de surface
Nanoparticules
Diélectriques
Matériaux nanostructurés
Réseaux de diffraction métalliques
Méthode modale
Réseaux deux dimensionnel