Guy Turban
IdRefMots clés
FR
Sciences appliquees
Electronique
Fabrication microelectronique
Microelectronic fabrication
Spectroscopie infrarouge
Spectroscopie
Couches minces
Gravure plasma
Gravure selective
Masque
Formation motif
Methode mesure
Epaisseur couche
Couche oxyde
Grille transistor
Silicium polycristallin
Cd
Plasma etching
Selective etching
Mask