Jean-Claude Dupuy
IdRefMots clés
FR
Microélectronique
Silicium
Spectrométrie de masse des ions secondaires
Électrodiffusion
Spectroscopie -- Déconvolution
Alliages
Cuivre -- Alliages
Rugosité
Érosion
Couches minces
Bore
Titane
Rétrodiffusion
Recuit thermique rapide
Circuits intégrés
Diélectriques
Nitruration
Cartes à mémoire
MOS complémentaires
Spectrométrie de masse d'ions secondaires