Etude d'une technologie d'encapsulation niveau zéro pour des capacités MEMS-RF

par Fabien Roubeau

Thèse de doctorat en Electronique, microelectronique, optique et lasers, optoelectronique microondes robotique

Sous la direction de Pierre Blondy.

Thèses en préparation à Limoges , dans le cadre de Sciences et Ingénierie pour l'Information, Mathématiques , en partenariat avec XLIM - Micro et Nanotechnologies pour Composants Optoélectroniques et Microondes (equipe de recherche) depuis le 16-10-2012 .


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