Modélisation multi-échelle de la gravure du silicium par plasma fluoré à couplage inductif

par Yehya Haidar

Projet de thèse en Chimie des matériaux

Sous la direction de Ahmed Rhallabi et de Fadia Jaher.

Thèses en préparation à Nantes en cotutelle avec l'Université Libanaise de Beyrouth , dans le cadre de Matière, Molécules Matériaux en Pays de la Loire (Nantes) depuis le 20-11-2012 .


  • Pas de résumé en français disponible.


  • Pas de résumé disponible.