Synthèse de nitrure de bore hexagonal par microplasmas dans l’azote

par Alice Remigy

Projet de thèse en Doc sciences pour l' ingenieur

Sous la direction de Guillaume Lombardi.

Thèses en préparation à Paris 13 , dans le cadre de École doctorale Galilée (Villetaneuse, Seine-Saint-Denis) depuis le 05-11-2019 .


  • Résumé

    Ce sujet de thèse s’inscrit dans le cadre d’une thématique de recherche récente (2015) au LSPM sur le dépôt de nitrure par microplasma. L’objectif est le développement et l’optimisation d’un réacteur innovant de dépôt de nitrure de bore hexagonal (h-BN) sur grandes surfaces (substrats de 5 cm de diamètre) par matrice de micro décharges à cathode creuse (MHCD) dans l’azote. h-BN est un matériau stratégique pour des applications à forte valeur ajoutée telles que la photonique et l’électronique. Ce projet de thèse s’inscrit dans la continuité de la thèse de Salima Kasri (soutenance le 14 mai 2019) et du post-doc de Hiba Kabbara dont le contrat se terminera en août 2019. Les premiers dépôts réalisés depuis novembre 2018 ont permis de mettre en évidence la synthèse de h-BN par le nouveau procédé microplasmas que nous avons développé ces trois dernières années. Nous avons ainsi pu démontrer la faisabilité de dépôt de h-BN sur de grandes surfaces à des températures plus faibles (800°C) que les procédés de dépôt conventionnels utilisés pour la synthèse de ce matériau. L’optimisation de ce procédé de dépôt est maintenant nécessaire pour améliorer la qualité cristalline et la stabilité des films obtenus. Ce processus d'optimisation vient tout juste de commencer dans le cadre de la fin du post-doc de Hiba Kabbara et du stage de master 2 de la candidate au sujet de thèse proposé, Alice Remigy.


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