Modélisation et amélioration des performances de gyromètres inertiels MEMS de grade tactique

par Alexandre Azier

Projet de thèse en Sciences pour l'Ingénieur

Sous la direction de Noureddine Bouhaddi et de Najib Kacem.

Thèses en préparation à Bourgogne Franche-Comté , dans le cadre de École doctorale Sciences pour l'ingénieur et microtechniques (Besançon ; Dijon ; Belfort) , en partenariat avec FEMTO-ST Franche Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies (laboratoire) et de Département Mécanique Appliquée (equipe de recherche) depuis le 11-03-2019 .


  • Résumé

    L'objectif de ce projet de thèse est de concevoir, fabriquer et optimiser des gyromètres inertiels MEMS en technologie silicium aux échelles submicroniques avec des niveaux de performances de grade tactique.

  • Titre traduit

    Modeling and improving the performance of tactical grade MEMS inertial gyroscopes


  • Résumé

    The objective of this thesis is to design, manufacture and optimize MEMS inertial gyroscope in silicon technology at submicron scales with tactical grade performance levels.