Nanofils de ZnO pour Capteurs de Pression Adaptés aux Milieux Biologiques

par José Villafuerte

Projet de thèse en 2MGE : Matériaux, Mécanique, Génie civil, Electrochimie

Sous la direction de Vincent Consonni et de Julien Pernot.


  • Résumé

    Le but de cette thèse consistera à développer des réseaux ordonnés de nanofils de ZnO avec une uniformité structurale contrôlée en termes de dimensions (i.e. diamètre, longueur, densité, période) par la combinaison de procédés technologiques en salle blanche telles que la lithographie assistée par nano-impression et de techniques de dépôts bas coût. Un travail sur le dépôt en bain chimique des nanofils de ZnO sera en particulier réalisé en vue d'étudier et d'optimiser finement leurs propriétés physiques, notamment leur dopage et les effets de polarité associés. Des techniques de caractérisations structurales et électro-optiques avancées seront utilisées afin de mettre en évidence ces propriétés (i.e. microscopie électronique en transmission, mesures électriques et spectroscopiques locales sur fils uniques, spectroscopie Raman, analyses chimiques locales…). Enfin, la fabrication de capteurs de pression adaptés aux milieux biologiques et à base de ces nanofils sera effectuée ainsi que les caractérisations classiques associées.

  • Titre traduit

    ZnO Nanowires for Pressure Devices Adapted for Biological Media


  • Résumé

    The goal of this thesis will be to develop ordered arrays of ZnO nanowires with a controlled structural uniformity in terms of dimensions (ie diameter, length, density, period) by the combination of clean room technological processes such as nano lithography and low cost deposit techniques. Work on chemical bath deposition of ZnO nanowires will in particular be carried out with a perspective to study and fine-tune their physical properties, in particular their doping and the associated polarity effects. Advanced structural and electro-optical characterization techniques will be used to highlight these properties (i.e. transmission electron microscopy, local electrical and spectroscopic measurements on single wires, Raman spectroscopy, local chemical analyzes ...). Finally, the manufacturing of pressure sensors adapted to biological media and based on these nanowires will be performed as well as the associated conventional characterizations.