Caractérisation et modélisation d'une décharge magnétron réactive pulsée haute puissance, application aux dépôts d’oxydes et de nitrures.

par Joelle Zgheib

Projet de thèse en Physique

Thèses en préparation à Nantes , dans le cadre de 3M - Matières, Molécules et Matériaux (Nantes) depuis le 11-10-2018 .


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