Etude de la fiabilité des résonateurs à ondes acoustiques de volume en niobate de lithium en vue de l'amélioration des performances des composant RF intégrés dans les smartphones et objets connectés

par Aurelio Borzi

Projet de thèse en Sciences pour l'Ingénieur

Sous la direction de Ausrine Bartasyte et de Alexandre Reinhardt.

Thèses en préparation à Bourgogne Franche-Comté , dans le cadre de SPIM - Sciences Physiques pour l'Ingénieur et Microtechniques , en partenariat avec FEMTO-ST Franche Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies (laboratoire) et de Département Temps Fréquence (equipe de recherche) depuis le 06-03-2017 .


  • Résumé

    Etudier la relaxation entre les propriétés du matériau du niobate de lithium et les performances des résonateurs BAW basés sur ce matériau

  • Titre traduit

    Reliability of lithium niobate-based bulk acoustic wave resonators for improvements of RF components in smartphones and connected objects.


  • Résumé

    My thesis moves inside the field of MEMS devices and in particular lithium niobate-based Bulk Acoustic Wave (BAW) resonators. More in detail my work is focused on the reliability study of the piezoelectric material employed in the devices fabrication in order to identify possible failure mechanisms arising from material properties and from the material interaction with the other resonator parts. The horizon of this research field is to investigate how linear and reliable lithium niobate-based BAW resonators are when subject to high power and how to improve this.