Méthodologie pour la création de modèles OPC en 3 dimensions au moyen d'outils de métrologie avancée (CD-SEM 3D)

par Charles Valade

Projet de thèse en Nano electronique et nano technologies

Sous la direction de Cécile Gourgon.

Thèses en préparation à Grenoble Alpes , dans le cadre de Electronique, Electrotechnique, Automatique, Traitement du Signal (EEATS) , en partenariat avec Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (laboratoire) depuis le 01-03-2017 .


  • Résumé

    Méthodologie pour la création de modèles OPC en 3 dimensions au moyen d'outils de métrologie avancée (CD-SEM 3D)

  • Titre traduit

    Methodology for the creation of 3D OPC models using advanced metrology tools (CD-SEM 3D)


  • Résumé

    Methodology for the creation of 3D OPC models using advanced metrology tools (CD-SEM 3D)